혁신적인 sputter 공정

2004년, Unaxis Balzers AG의 관리 인수로 시작된 Evatec Ltd.는 다양한 디자인과 크기의 증발기를 세계 시장에 공급하고 있다. 컬러 필터, 표면이 코팅된 렌즈 또는 반사 방지막으로 제조된 제품들은 대부분의 반도체 전자 및 광학 필터 산업에 사용되고 있다. Evatec Ltd.는 광학 필터 산업의 가능성을 확장하고 금속 표면 코팅 시장을 새로 열기 위해 새로운 Radiance 제품군을 개발했다. 혁신적인 아이디어와 전문적인 구현을 통해 코팅 어플리케이션을 위한 새로운 가능성을 제공하는sputter cluster tool이 개발되었다.

Sputter는 짧은 기간 동안 발전해왔다. 몇몇의 제조업체들은 단일모듈 또는 cluster tool 기계 유형을 생산한다.

싱글 타깃 솔루션으로 디자인된 기존의 시스템과는 달리, Radiance 시스템은 로터리 테이블에 하나 이상의 회로 기판을 장착할 수 있고, 이전에 실행된 Sputter source를 매 초마다 동시에 코팅된 제품을 회전할 수 있다.

기존의 시스템은 공정이 폐쇄된 챔버에서 일어나기 때문에 서로 다른 타깃에서의 교체는 항상 전송을 해야만 했다. Radiance 시스템에서는 회전하는 시스템을 사용하기 때문에 최대 6가지의 서로 다른 물질을 사용할 수 있고 이것은 상상할 수 없는 가능성과 다양성을 보장한다.

Sputtering은 물리적 과정으로서, 활성화된 이온의 충돌로 고체 표면으로부터 원자를 이탈시켜 기체상이 되는 과정이다. 이러한 고진공 코팅 과정은 PVD (물리 기상 증착)로 분류 된다.

이것은 반도체와 마이크로시스템 기술에서는 박막을 제조하는데 사용된다. Sputtering에 의해 생성된 박막은 물질의 표면 처리 (거울, 헤드라이트, 자동차의 림) 또는 광학 장비의 기능성 층 (필름 편광, 내열 유리)에 사용되기도 한다.

Evatec은 일괄 처리 모듈 (다중 소스)과 단일 처리 모듈로 구분되는 서로 다른 모듈을 제공한다. 생산 플랜트에서는 이러한 단일 장비를 빌딩 블록 구조를 이용하여 고객의 필요에 따라 자유롭게 조정할 수 있다.

PC 기반 컨트롤러

이러한 공정 유닛들은 각각의 고유한 컨트롤러를 가진 독립된 객체이다. APC 620의 경우, CAN, DeviceNet 그리고 POWERLINK 인터페이스가 있다. 컨트롤러는 모든 센서와 모션 제어를 포함한 구동기들을 제어하고 모니터링하는 역할을 수행한다. 5개의 소스를 가진 일괄 처리 모듈은 대략 50개의 밸브와 30개의 진공 게이지, 유량 제어기와 다양한 위치 작업을 위한 7축 서보와 같은 DeviceNet 요소로 구성되어 있다. 펌프 제어, 안전 회로 모니터링과 같은 일반적인 작업은 SafeLogic 컨트롤러와 함께 X20 컨트롤러를 이용한다.

상위 레벨 시스템으로 사용하는 PC 조작부는 모든 생산 플랜트의 통신 인터페이스와 같은 기능을 수행한다(호스트 연결). 개별 장비의 통신은 .NET 제어를 이용한 PVI (처리 시각화 인터페이스)에 의해 수행된다. 이러한 시스템을 구성하는 능력 또한 매우 중요한 것이며 시스템은 더할 나위 없이 완벽하게 개발된다.

간단한 통합

B&R 하드웨어 플랫폼은 최신의 빠르고 호환성이 좋은 제어 시스템으로써 계속적으로 입증이 되고있다. 이 프로젝트에서는 아직 밝혀지지 않은 세 번째 디바이스와 버스 시스템에서 공공연히 일어나는 작업 능력에 관해 예기치 않은 진전이 있을 수도 있다.

많은 장치가 산업에서 사용되고 대체 필드버스 연결 가능성이 제한되기 때문에 적어도 5가지의 다른 인터페이스가 통합되고 있다.

이 새로운 기능들이 Automation Studio에서 완벽하게 통합되기 때문에 많은 다양한 시스템이 B&R 시스템에 쉽게 통합될 수 있다.

이 프로젝트에서 강조하는 점은 새로운 세이프티 컨트롤러와 X20 Safety I/O 모듈을 사용한다는 것이다. 연속성과 호환성을 가진 이 시스템은 다른 제조업체 시장에서는 찾을 수 없다. 무엇보다도 하드웨어를 통해서는 다양한 운영 모드 및 다양한 구성 옵션의 사용은 불가능했을 것이다.

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