나온테크의 반도체용 진공로봇 ‘VACTRA 시리즈’

반도체, LCD, 태양전지용 로봇전문기업인 나온테크가 반도체용 진공로봇 ‘VACTRA 시리즈’를 발표하였다.

이 제품은 웨이퍼 교체시간을 대폭 단축한 로봇으로 나온테크의 수년간 축적된 로봇 및 진공기술력을 과시한 것으로 이번 전시에 EFEM과 함께 출품되었다.

김원경 대표이사는 “진공 로봇을 회사의 핵심모듈로 삼아 앞으로 다양한 고객의 요구사항에 대응한 모델을 출시하고, 클러스터 툴 등 진공시스템 공급을 통한 새로운 서비스를 제공할 것이다”라고 포부를 밝혔다.

싸이맥스의 반도체로봇

싸이맥스에서는 다른 로봇이 한 번에 1개의 로봇 팔만을 움직일 때 2개의 로봇 팔이 각자 움직이며 생산성을 1.4배 올리는 반도체로봇을 선보였다.

장비에서부터 차별을 둔 이 제품은 암(arm)과 바디(body) 등의 디자인·형태 및 동작과 함께 제어기 자체에서도 차별을 둔 신제품이다.

다사로봇의 ‘기판 반송용 수평다관절 로봇 DST 시리즈’

국내 대표 로봇전문기업인 다사로봇은 최근 개발한 ‘WTRFHQHT’와 현재 개발 중인 ‘AGV탑재용 로봇 샘플모델’을 함께 선보임으로써 반도체장비 업체 고객들의 관심을 끌었다.

전축엡솔루트 엔코더를 채용하여 원점복귀가 불필요한 이 제품은 다양한 Application을 갖고 있다.

또한 A, B arm 길이 기준 500~1000mmrk 가능하고 가반하중 20Kgf를 실현하여 Z-Stroke 고객사양에 대응하고 용도에 따라 R축 방향의 변경이 가능하다.

다사로봇의 관계자는 “현재 국내외 경기상황이 어렵지만, 이럴 때 일수록 ‘위기는 기회다’라는 생각으로 적극적인 마케팅 활동을 하여 매출증대 및 신 시장 개척에 최선을 다할 것이다.”라고 말했다.

S.E.K Corporation의 신제품

2009년을 맞이하며 S.E.K Corporation가 새롭게 선보인 제품은 ‘EFEM for 4 FOUP with New Robot’이라는 로봇으로, 전시장에는 업그레이드 전의 기존제품만 전시되며 신제품은 판넬로 소개되고 있었다.

‘Short Wide 575mm’은 기존모델 741mm에서 ‘High Speed, Through-put’을 콘셉트로 특허출원 Robot Dual Edge-grip Type으로 업그레이드 된 신제품이다.

로보스타 ‘450mm 진공로봇’

로보스타(Robostar)에서는 450mm 진공로봇을 국내 최초로 선보였다.

‘Merit of ROSEP 450’은 기종 동등 사양 5축에 비해 소비전력 절감에 기여하고 PM&L/L의 Wafer 교환 동작은 Theta축 선회 없이 동작이 가능하여 Through Foot 향상에 기여한다.

또한 A&B 핸드는 1축 서보 모터 구동으로 동기동작이 가능하고, Twin process Chamber 측의 피치간 거리가 변해도 티칭에 의한 액서스가 가능하여 핸드 베이스 교체 작업이 불필요하다.

로보스타의 관계자는 “국내에서 450mm 진공로봇을 선보이는 것은 우리가 처음일 것”이라며 현재 테스트 중인 본 제품의 본격적인 양산 준비를 하고 있음을 전했다.

보쉬렉스로스코리아의 로봇제어시스템

보쉬렉스로스에서는 혁신적인 로봇제어시스템을 선보였다.

‘로봇제어기(MLC RoCO): 3축 볼스크루형 직교좌표로봇/ 3축 리니어모터형 갠트리로봇’은 로봇의 높은 가격에 고민하는 고객을 위한 솔루션으로 시장에 선보인 것이다.

로봇제어기 한 대로 델타로봇과 스카라로봇, 6축 직교좌표 로봇과 수직다관절로봇, 갠트리로봇, 핸들링로봇 등 8대를 제어할 수 있는 것 뿐만 아니라, PLC 기능이 기본 내장되고 어떤 메이커의 리니어모터도 상관없이 적용이 가능하다.

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