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ACM 리서치, 화합물 반도체용 Ultra ECDP 전기화학 디플레이팅 장비 출시

화합물 반도체 금 식각 공정 최적화

임승환 기자2025-10-23 13:26:00댓글 0
# 태그 #ACM 리서치 #Ultra ECDP #화합물 반도체 #금 식각 #전기화학 디플레이팅 #Au 범프 #박막 식각 #딥홀 디플레이팅 #WBG #SiC #GaAs #Li₃PO₄ #웨이퍼 레벨 패키징 #전기차 배터리 #5G #AI #RF #반도체 장비
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