TANAKA 홀딩스 주식회사(본사: 도쿄도 치요다구, 대표이사 사장: 오카모토 히데야)는 다나까 귀금속그룹의 제조 사업을 전개하는 다나까 귀금속공업 주식회사(본사: 도쿄도 치요다구, 대표이사 사장: 오카모토 히데야)가 차세대 반도체의 미세화 기술에 사용되는 박막 재료(귀금속 전구체(※1)) 공급 거점을 한국(인천광역시)과 대만(신주시), 미국(코네티컷주)에 개설해 2012년 7월 중에 공급 개시함을 알려 드립니다.

이에 따라 반도체 주요 제조업체가 모인 아시아 각국과 미국 현지 고객을 대상으로 일본에서 귀금속 전구체를 수출하는 경우에 비해 납기를 절반으로 단축할 수 있는 동시에 고객은 전구체에 드는 총비용을 절반으로 줄이는 것이 가능해졌습니다. 또한 다나까 귀금속공업은 귀금속 전구체에 사용되는 3년분의 루테늄 이미 조달해 두었기 때문에 안정적으로 루테늄 전구체를 공급할 수 있습니다. 또한 각 거점이 제품의 재고를 보관할 수 있으므로, 자연 재해 및 사회 인프라 장애 등에 대비해 제품 공급망의 리스크 분산을 도모할 수 있습니다.

10나노미터대 이후의 반도체 제조에 필요한 루테늄 전구체

루테늄은 반도체의 미세한 구리 배선 소재 및 DRAM(기억 유지 동작이 필요한 수시 입출력 메모리) 커패시터 전극 등의 재료로 주목받고 있습니다. 미세화가 진행되고 있는 반도체 시장에서는 현재 회로 선폭 30나노(나노는 1/10억)미터대가 주류를 이루고 있으며, 2012년 이후에 20나노미터대의 차세대 반도체가 양산되기 시작해 2013년 말에는 10나노미터대의 양산이 시작될 것으로 전망되고 있습니다.

10나노미터대 이후의 미세 배선을 실현하기 위해 다양한 미세화 기술이 개발되고 있는 현재, 각 반도체 제조업체는 저저항에서 구리와의 상성(성질이 서로 맞음)이 우수한 루테늄 박막을 구리 도금 소재에 시공하여 구리 도금의 매입성을 개선하는 방법을 검토하고 있습니다. 다나까 귀금속공업은 미세화 기술로 사용되는 화학 기상 성장법(CVD)(※2) 및 원자층 증착법(ALD)(※3) 등 성막 기술의 재료가 되는 다양한 루테늄 전구체를 개발·제공하고 있으며, 현재 각 반도체 제조업체를 대상으로 샘플을 출하하고 있습니다.

루테늄 전구체를 해외에 납품할 경우, 종전에는 일본에서 루테늄 전구체를 제조하여 용기에 충전한 것을 현지 고객에게 운송해야 하므로 발주에서 납품까지 20일 정도가 소요되었습니다. 이번 개설을 통해 일본에서 제조한 전구체를 각 공급 거점에서 용기에 충전하여 재고를 보관할 수 있으므로 납품기간을 10일 이하로 단축할 수 있습니다. 또한운송비의 저비용화를 통해 전구체 비용 등을 절감할 수 있으므로 기존의 공급체제에 비해 고객은전구체에 드는 총비용을 절반으로 줄이는 것이 가능해졌습니다.

3년분의 루테늄을 조달, 재활용 공정도 정비

가격 경쟁 및 기술 경쟁이 치열한 반도체 업계에서 재료의 비용 절감과 안정적인 공급은 필수적입니다. 이번의 현지 공급 개시에 발맞춰 다나까 귀금속공업은 귀금속 전구체에 사용되는 3년분의 루테늄을 조달해 루테늄 전구체의 안정적인 공급체제를 확립했습니다. 또한 유가물로 회수되지 않고 폐기되었던 루테늄 전구체를 귀금속 상태로 환원하지 않고 신품과 같은 루테늄 전구체로 정제할 수 있는 재활용 공정을 확립해 특허를 취득했습니다. 이를 통해 재료 비용을 약 20% 절감할 수 있을 뿐만 아니라 지금 가격 변동의 리스크를 줄일 수 있으므로 반도체 제조업체는 제조 시의 총비용을 더욱 절감할 수 있습니다.

당사에서는 이 루테늄 전구체를 2017년까지 연간 10억 엔을 판매한다는 목표를 세우고 있습니다. 향후 미세화 기술에 사용되는 백금 및 이리듐, 니켈 등 다른 성막 재료도 3거점에서 공급하는 방안을 검토하는 등 고객의 개발 수요에 대응하는 지원체제를 강화해 나가겠습니다.

용어 해설
※1 전구체(precursor): 어떤 물질이 생성되기 전의 물질을 말함.
※2 화학 기상 성장법: 재료를 승화시켜 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 방법. CVD(Chemical Vapor Deposition)라고도 한다.
※3 원자층 증착법: 원자 레벨에서 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 방법.　ALD(Atomic Layer Deposition)라고도 한다.

다나까 홀딩스 주식회사(다나까 귀금속 그룹의 지주 회사)

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