사진. 제덱스
반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스가 정전척(ESC)을 비롯해 스퍼터링 타겟, FOUP 등 그동안 정밀 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다고 밝혔다. 해당 장비는 기존 M2000ESC의 차세대 모델로, 나노급 초미세 공정 대응을 위해 개발됐다.
M802ESC는 대형·고중량 구조와 표면 정밀도 문제로 인해 기존 방식으로는 정량적 평가가 쉽지 않았던 부품 검사가 가능해졌다는 점이 특징이다. 직경 610㎜ 이내 시료 대응과 최대 50㎏ 하중 설계를 적용해 반도체 공정 핵심 부품의 실제 사용 조건을 반영했다.
기본적으로 0.1㎛ 이상 입자 검출이 가능하며, 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미세 파티클까지 계수할 수 있다. 또한 X·Y·Z 로봇 제어 기반 스캔 노즐 방식을 적용해 표면의 약 90% 영역을 균일하게 검사하도록 설계됐다.
비접촉 방식의 고효율 입자 추출 시스템도 적용했다. 시료를 오염시키지 않으면서 입자를 분리·회수할 수 있으며, 특허 기반 회수 헤드와 입자 확산 방지 구조를 통해 검사 과정에서의 2차 오염을 최소화했다. 더불어 ULPA 필터 기반 Class 1 초청정 환경을 유지해 측정 데이터의 신뢰도를 높였다.
제덱스는 “M802ESC 출시로 지금까지 정량적 검사가 어려웠던 부품까지 데이터 기반 평가가 가능해지면서 공정 수율 관리 방식에 변화가 기대된다”라고 밝혔다.
한편 제덱스는 2000년 설립 이후 반도체, 디스플레이, 우주항공, 정밀기계, 정밀전자 산업에 필요한 표면입자계수기와 부품입자평가장치 등 파티클 검사장치를 개발해 국내외 기업에 공급해 왔다. 또한 파티클 관리·제거 기술 컨설팅과 고객 시료 평가를 위한 전문 랩을 운영하고 있다.
본사는 경기도 용인시 기흥구 흥덕아이티밸리에 위치해 있으며, ParticlePro와 ParticleHouse 등을 주요 브랜드로 보유하고 있다. 수출 비중은 80% 이상으로, 글로벌 주요 기업에 표준 장비로 채택된 제품을 다수 공급하고 있다.
