사진. PI코리아
PI(Physik Instrumente)는 광학 위상 이동(phase-shifting) 응용에 최적화된 S-312 피에조 스테이지를 새롭게 출시했다. 이 제품은 나노미터 수준의 정밀한 움직임으로 스테이지에 장착된 렌즈를 지나는 빛의 위상을 변화시킨다. 주로 간섭계에 통합되지만 다양한 광학 회로에도 적용할 수 있다. 또한 고강성 설계를 바탕으로 서브 나노미터 스텝을 밀리초 응답 속도로 구현할 수 있어 빠른 프린지(fringe) 쉬프팅에 적합하다.
동작 원리
S-312 나노포지셔닝 스테이지는 3개의 개루프 PICMA® 피에조 액추에이터를 병렬 구동하며, 외부 아날로그 증폭기를 통해 작동한다. 변위는 입력되는 아날로그 구동 전압에 비례해, 예를 들어 10V 신호에서는 100V에서 달성되는 최대 이동 거리의 약 10%를 제공한다. 또한 통합 위치 센서를 갖춘 폐루프 제어 옵션과 다양한 폼팩터의 맞춤형 위상 시프터도 제공한다. 0.5m 케이블은 커넥터형과 피그테일을 선택할 수 있어 사용 환경에 맞춘 높은 구성 유연성을 지원한다.
주요 사양
53mm(2인치)에서 311mm(12인치)까지의 애퍼처를 갖춘 5가지 모델을 제공하며 높이 28mm부터 시작하는 낮은 프로파일을 설계할 수 있다.
트라이포드 피에조 구조로 Z, 팁, 틸트 구동을 지원하고 있으며 개루프 아날로그 전압 구동 방식, 100V에서 최대 15µm 변위, 10V에서 약 1.5µm 변위 폐루프 제어 맞춤형 버전을 제공한다.
이 스테이지는 간섭계나 광학 회로에서 나노미터 단위의 미세한 스텝 이동이 필요한 응용에 최적화돼 있다. 또한 정밀 정렬, 빔 제어, 현미경 분야에 적용할 수 있다. 고체형 피에조와 플렉셔 설계는 수십억 사이클의 수명을 보장하며, 진공 및 클린룸 환경에서도 사용할 수 있도록 구성할 수 있다.
