Ultra Lith KrF 트랙 시스템 / 사진. ACM 리서치
반도체 및 첨단 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 솔루션 기업 ACM 리서치(ACM Research 이하 ACM)가 Ultra Lith KrF 트랙 시스템을 중국 로직 웨이퍼 팹 고객사에 공급했다고 9월 12일(금) 밝혔다.
이번 출시된 Ultra Lith KrF 트랙 시스템은 ACM 고유의 플랫폼 설계로 높은 생산성과 첨단 공정 제어 기능을 제공하며, 성숙 단계의 KrF 리소그래피 애플리케이션을 지원한다. 시스템의 첫 번째 장비는 이미 2025년 9월 중국 고객사에 출고됐다.
ACM의 Ultra Lith KrF 트랙 시스템은 ACM ArF 트랙 플랫폼의 검증된 아키텍처와 공정 성과를 기반으로 개발됐다. ArF 플랫폼은 2024년 말 중국 선도 고객사와 함께 데모 라인 공정 검증을 성공적으로 마쳤으며, 옹스트롬 이하 수준의 코팅 균일도, 첨단 열 제어, ASML 스캐너와 부합하는 CD 매칭 성능을 입증했다. 이러한 검증 성과가 KrF 플랫폼 설계 최적화의 기반이 됐다.
ACM의 사장 겸 최고경영자(CEO) 데이비드 왕(David Wang) 박사는 “ACM의 Ultra Lith KrF 트랙 시스템 출시는 전공정 장비 분야에서 ACM의 입지를 넓힐 뿐 아니라 리소그래피 공정과 관련한 다양한 과제를 해결하려는 ACM의 의지를 보여준다”라며 “KrF 리소그래피는 성숙한 공정 노드 디바이스 제조에 여전히 필수적이며, ArF와 KrF 트랙 시스템을 모두 제공함으로써 팹 내 원활한 통합과 다양한 애플리케이션에서의 높은 제조 유연성을 지원한다”라고 말했다.
새로운 KrF 트랙 시스템은 12대 스핀 코터와 12대 디벨로퍼(12C12D) 모듈을 포함한 유연한 공정 구성을 특징으로 하며, 54개의 핫플레이트를 통해 저·중·고온 공정을 안정적으로 수행한다. 시간당 300장 이상의 웨이퍼 처리량(WPH)을 달성하며, ACM 고유의 후면 파티클 제거 장치(BPRV) 기술과 웨이퍼 단위 이상치 검사(WSOI) 유닛을 통합해 교차 오염 위험을 최소화하고, 실시간 공정 변동 감지 및 수율 이상 모니터링을 가능하게 한다. 이를 통해 공정 안정성과 생산 효율성을 크게 향상시킨다.
