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Advanced Energy가 10㎾ 펄스 DC 전원 공급장치를 선보였다(사진. Advanced Energy).

Advanced Energy가 전력 및 제어 기능과 PowerInsight by Advanced Energy™ 임베디드 프로세스 최적화 소프트웨어를 결합한 10㎾ 펄스 DC 전원 공급장치로 플라즈마 발전기 제품군을 확장했다 특허 받은 펄스 기술이 적용된 Ascent® SMS AP(Advanced Pulsing) 전원 공급장치는 반도체에서 태양광 PV 제조에 이르기까지 가장 까다로운 박막 증착 적용에 최적의 아크 관리 및 정확한 플라스마 제어를 제공한다.

소형 10㎾ Ascent SMS AP는 최대 1,200V의 전압과 0.5~150㎑의 주파수로 가장 폭넓은 안전 작동 영역(SOA)을 갖췄다. 완전 전압 역전이 가능한 4블록 프로그레시브 아크 관리 시스템은 업계 최고 수준의 솔루션으로서 공정에 따라 동적으로 움직이는 자체 조정 아크 매개 변수를 최저 아크 에너지로 제공한다. AP 파형은 부스트 전압, 역전압 제어 및 고급 펄스 성형을 제공해 미세 조정을 통해 필름 형태와 원하는 필름 속성을 조정할 수 있다.

이 새로운 장치는 PowerInsight 공정 특성화 및 최적화 소프트웨어를 내장한 AE 전원 공급장치다. 중요 전력 공급 시스템의 데이터 수집, 분석 및 변환을 단순화해 PowerInsight는 처리량 및 수율 향상을 위해 프로세스를 최적화한다.